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無塵衣使用情形

2007-3-17 【中國童裝網(wǎng)】 【字體: 】 【打印進(jìn)入論壇
         半導(dǎo)體工業(yè)是極精密的工業(yè),當(dāng)我們把計(jì)算機(jī)拆開之后,在電路板上一顆顆小小的IC都有數(shù)百萬顆甚至數(shù)千萬顆的晶體管。為了讓這些極小的晶體管妥善的工作,制造的過程必須在無塵室內(nèi)進(jìn)行,集成電路制造的工廠動(dòng)輒需要數(shù)十億、數(shù)百億的投資,多因?yàn)樾枰粋(gè)無塵室。

  所謂的無塵室是一個(gè)人造的環(huán)境,里面含有的粒子遠(yuǎn)低于一般的環(huán)境,隨著集成電路技術(shù)的快速成長,也增加了對制造環(huán)境(無塵室)潔靜度的需求,在工業(yè)上即使粒子之尺寸小于1微米,也可能阻礙產(chǎn)品的運(yùn)作或降低其壽命。 由于奈米技術(shù)的興起,造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小,集成電路積集度不斷的增加,塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當(dāng)金屬塵粒地落到金屬導(dǎo)線時(shí),就可能會(huì)使金屬導(dǎo)線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導(dǎo)線上,可能將其腐蝕,所以無塵室為集成電路制造不可或缺的要素。

  依據(jù)美國聯(lián)邦政府頒布的標(biāo)準(zhǔn)【Federal Standard (FS) 209E, 1992】,可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級,如果無塵室的等級只用塵粒數(shù)目來敘述,則可假設(shè)塵粒的尺寸為0.5µm,例如,1級、10級、100級無塵室最大塵粒數(shù)目分別小于或等于1顆、10顆、100顆,如果塵粒尺寸不是0.5µm,無塵室等級應(yīng)以在一特定塵粒尺寸的級數(shù)來表示。例如:10級在0.2µm(塵粒尺寸在0.2µm或更大下,密度不大于75顆/立方英?),1級在0.1µm(塵粒尺寸在0.1µm或更大下,密度不大于35顆/立方英?)。而集成電路制造所需的無塵室之潔凈度必須優(yōu)于1000級。

  為保持無塵室的潔凈度,進(jìn)出的人員有一定的穿著規(guī)定;10000與100000級,必須穿著長袍無塵衣、無塵鞋、帶帽子與面罩;1000級(含)以上,需穿著特殊的潔凈連身衣、無塵鞋將全身裹住,并帶上手套和面罩,下表為無塵室清潔度的定義:
塵粒數(shù)/立方英
級數(shù) 0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.4μm 0.5μm
1 35 7.5 3 1 N/A
10 350 75 30 10 N/A
100 N/A 750 300 100 N/A
1000 N/A N/A N/A 1000 7
10000 N/A N/A N/A 10000 70
100000 N/A N/A N/A 100000 700

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新聞來源:中國紡織經(jīng)濟(jì)信息   本網(wǎng)整理編輯:Lavender
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